请教生成s1p库文件问题

自己做了个z参数s1p文件，仿真老是报错，文件格式如下：
#MHz Z RI R 50
3  0.3 -6.6
3.1 0.33 -6.3
        :
        :
报错库文件“read error”
什么原因

参考安捷伦矢网生成的snp文件。
#号后面应该加空格。
！Agilent Technologies,E5071C,MY46523559,B.13.01
！Date: Fri Jan 29 08:17:11 2016
！Data & Calibration Information:
！Freq    S11:SOLT3(ON)    S12:SOLT3(ON)    S13:SOLT3(ON)
！    S21:SOLT3(ON)    S22:SOLT3(ON)    S23:SOLT3(ON)
！    S31:SOLT3(ON)    S32:SOLT3(ON)    S33:SOLT3(ON)
！PortZ  Port1:50+j0    Port2:50+j0    Port3:50+j0
！Above PortZ is port z conversion or system Z0 setting when saving the data.
！When reading, reference impedance value at option line is always used.
# Hz S dB R 50
31370000    -3.824881e+001    1.437047e+002    -6.334629e+001    1.002029e+002    -1.038204e+002    1.673151e+002

你用什么软件仿真，那个软件是否可以导出s1p文件?可以参考
不行就用HFSS导出一个试试